MicroSafety
Microcontaminant Outgassing Test on the ATS FXP™ Duct Exterior
NanoAnalysis of ATS ChemBond™ Putty for Offgassing
1993년 이래로 ATS는 하이텍분야에 충실하기 위해 유기 화합물 방출 테스트를 해오고 있습니다. 1993년, ATS는 그 당시의 표준인 SEMI E46-95를 테스트했습니다. 2012년에는 또 반도체용 국제 기술 로드맵인 ITRS에 명시된 프로토콜에 맞춰 테스트를 진행했습니다. 테스트 보고서는 아래와 같습니다. 2016년 ATS는 세계 최대 반도체 제조업체 중 하나인 최첨단 공장운영 무균실에서 평가되었습니다. 평가결과로, ATS는 해당회사의 미세오염물질 부서에서 무균실에서의 사용이 승인되었습니다. 유기가스 방출 ITRS 표준은 26,000파츠/조(ppttv)입니다. 웨이퍼에 근접하여 테스트된 ATS’ ChemBond™는 14pptv의 유기가스만을 방출하였습니다. ATS 레벨은 (26000/14=)ITRS 표준보다 1800배 낮았습니다.
